特許

J-GLOBAL ID：200903065716787893

走査トンネル顕微鏡

発明者： 関根 賢
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  日本電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-002885
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187813
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】 走査トンネル顕微鏡において、温度応答性、温度制御性がよく、試料の破損、温度ムラがなく、真空、ガス、大気、液体の何れの環境においても冷却・加熱可能な、試料冷却・加熱装置。【構成】 探針2先端と試料S間のトンネル電流を測定することにより試料S表面形状を測定する走査トンネル顕微鏡において、試料Sを載置する試料台としてペルチエ素子を用いたサーモ・モジュール1を用いて、試料Sを直接冷却・加熱する。

請求項（抜粋）：

探針先端と試料間のトンネル電流を測定することにより試料表面形状を測定する走査トンネル顕微鏡において、試料を載置する試料台としてペルチエ素子を用いたサーモ・モジュールを用いることを特徴とする走査トンネル顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-181143
  
• 特開昭56-088464