特許

J-GLOBAL ID：200903065721844641

分光素子

発明者： 前田 文彦 ,  渡辺 義夫 ,  尾嶋 正治 ,  竹中 久貴
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 中本 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-329874
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142397
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】 高い分解能と回折効率を同時に実現した分光素子を提供する。【構成】 球殻状のクラスター分子を基本とする結晶により構成されている分光素子。その例としてはCn (n=10、12、16、20、24、28、32、36、50、60、70、80、90、100、110、120・・・)が挙げられる。例えば基板上にエピタキシャル成長法による(001)方位に成長したC60クラスター結晶膜(膜厚は約1μm)で構成される。これら分光素子の回折効率は20%程度、波長分解能は3000と見積もられる。【効果】 軟X線領域における高効率、高分解能を実現することができる。

請求項（抜粋）：

球殻状クラスター分子を基本とする結晶により構成されていることを特徴とする分光素子。

IPC (2件)：

G21K 1/06 ,  G02B 1/02