圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-071055
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021431
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】安価な簡素化された構成にて相対圧を検出することができる圧力センサを提供する。【解決手段】それぞれ異なる圧力空間A、Bに配置された2個のセンサ素子10、20は、内部に圧力基準室11、21が形成された半導体基板よりなり、圧力基準室11、12の一面に形成されたダイヤフラム12、22と、ダイヤフラム12、22のたわみを電気信号に変換するゲージ13、23とを有し、ダイヤフラム12、22とは反対側の面同士が重ね合わされ、異なる圧力空間A、Bを仕切る樹脂基板30のリードフレーム31に形成された穴部32を塞ぐようにリードフレーム31に接着されている。そして、2個のセンサ素子10、20における出力の差に基づいて、異なる圧力空間A、B同士の差圧を相対圧として検出する。

請求項（抜粋）：

内部に圧力基準室(11、21)が形成された半導体基板よりなり、前記圧力基準室の一面に形成されたダイヤフラム(12、22)と、このダイヤフラムのたわみを電気信号に変換する変換手段(13、23)とを有するセンサ素子(10、20)を、少なくとも2個備え、これら2個のセンサ素子は、それぞれ異なる圧力空間に配置され、前記2個のセンサ素子における出力の差に基づいて、前記異なる圧力空間同士の差圧を相対圧として検出するようにしたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 13/06 , G01L 15/00 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 13/06 R , G01L 15/00 , H01L 29/84 B

Fターム (25件)：

2F055BB01 , 2F055BB05 , 2F055CC02 , 2F055DD04 , 2F055DD09 , 2F055DD11 , 2F055EE13 , 2F055FF43 , 2F055GG11 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA06 , 4M112CA10 , 4M112CA12 , 4M112CA13 , 4M112CA15 , 4M112CA16 , 4M112DA04 , 4M112DA12 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112FA11 , 4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

熱交換媒体圧力測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-301299 出願人：株式会社ゼクセル
特開昭64-043738
特開昭63-101712

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