特許

J-GLOBAL ID：200903065741344300

表面形状認識用センサおよびその製造方法

発明者： 町田 克之 ,  重松 智志 ,  森村 浩季
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001170
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199701
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 センシングの際に発生する静電気によって静電破壊されることなどがないなど、安定して高感度の表面形状検出が信頼性の高い状態でできるようにする。【解決手段】 層間絶縁膜103の同一平面にそれぞれが絶縁分離された複数のセンサ電極105が備えられ、この上に、支持電極106により支持されてセンサ電極105上に所定の距離離間してかつ対向して対向電極107が配置されている。またセンサ電極105と支持電極106は、その側面および上面がRuからなる保護膜105cおよび106cで覆われている。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面にそれぞれが絶縁分離され、かつそれぞれ固定配置されたセンサ電極を有する複数の容量検出素子と、前記容量検出素子それぞれの容量を検出する容量検出手段と、前記層間絶縁膜上で前記センサ電極と絶縁分離されて配置された固定電極とを備えたことを特徴とする表面形状認識用センサ。

IPC (2件)：

G01B 7/34 102 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G01B 7/34 102 A ,  G06F 15/64 G

Fターム (10件)：

2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063BD11 ,  2F063CA28 ,  2F063HA01 ,  2F063HA10 ,  2F063HA16 ,  2F063LA23 ,  2F063LA29 ,  5B047AA25

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 指紋検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-326414   出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (1件)

• 指紋検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-326414   出願人：日本電気株式会社