特許

J-GLOBAL ID：200903065744984149

ポリッシング方法及びその装置

発明者： 川面 貴裕
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-295388
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103202
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】【課題】 イニシャルドレスを皆無又はより少なく抑え、研磨布の有効活用とドレッサの長寿命化を図ると同時に、より的確な加工を可能にする。【解決手段】 研磨布13を新たなものに交換したとき、第1の被加工物を試し加工することなどにより、加工時の定盤12の回転トルクの積分値を加工量に換算するための換算係数を初期設定し、加工時に上記積分値を求めると共に、この積分値と前記換算係数を用いて算出した目標加工量となるように第2以降の被加工物を加工する。この加工による加工量を測定し、この加工量が目標加工量の許容値から外れていたとき、両加工量の差分を加味して換算係数を修正する。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するポリッシングヘッドと、このポリッシングヘッドに対向して配置されると共に前記ポリッシングヘッドと相対運動を行い、かつ表面に研磨布を有する定盤と、前記ポリッシングヘッドと平行して前記定盤に対向して配置され、前記研磨布の目立てを行うドレッサとを具備するポリッシング装置により前記被加工物の表面をポリッシングする方法であって、前記研磨布を新たなものに交換した後、第1の被加工物を試し加工し、この試し加工時の定盤回転トルクの積分値と加工量を求めて前記積分値を加工量に換算するための換算係数を算出して初期設定する試し加工工程と、同様に定盤回転トルクの積分値を求めると共にこの積分値と前記換算係数を用いて算出した目標加工量となるように第2以降の被加工物を加工する実加工工程と、この実加工工程後の実加工量を測定する工程と、この実加工量が前記目標加工量の許容値内か否かを判断する工程と、前記実加工量が前記目標加工量の許容値から外れていたとき、前記実加工工程時における定盤回転トルクの積分値と前記実加工量に前記両加工量の差分を加味した値とから新たな換算係数を算出し先に設定されている換算係数を順次修正する工程と、からなることを特徴とするポリッシング方法。

IPC (5件)：

B24B 37/00 ,  B24B 49/16 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 49/16 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622 M ,  H01L 21/304 622 R

Fターム (17件)：

3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034CA17 ,  3C034DD20 ,  3C047AA15 ,  3C047AA21 ,  3C047AA34 ,  3C058AA09 ,  3C058AA19 ,  3C058AC02 ,  3C058BA06 ,  3C058BA07 ,  3C058BB09 ,  3C058BC03 ,  3C058CB05 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17