特許
J-GLOBAL ID：200903065746603762
ノズルの位置ずれ検出装置及びこれを用いた材料塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-346343
公開番号（公開出願番号）：特開2003-145004
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
要約：
【要約】【課題】 比較的簡単な構成でノズルの位置ずれ量を高精度に検出することができるノズルの位置ずれ検出装置及びこれを用いた材料塗布装置を提供すること。【解決手段】 所定方向に延びる光軸B1,B2,B3を形成し、当該光軸B1,B2,B3にノズル12を横切らせることで当該ノズル12の位置を検知する光電管20と、この光電管20の出力を入力として所定の演算処理を行う処理部23とを備えて位置ずれ検出装置14が構成されている。処理部23は、光電管20によって検知されたノズル12の位置から、所定のティーチングデータにより特定される基準位置に対する位置ずれ量を演算可能となっている。
請求項（抜粋）：
所定の基準位置に対するノズルの位置ずれ量を検出するノズルの位置ずれ検出装置において、直交三軸のうち少なくとも一軸方向のノズルの位置を検知するセンサと、このセンサの出力を入力として前記基準位置を特定するデータから前記位置ずれ量を演算する処理部とを備えたことを特徴とするノズルの位置ずれ検出装置。
Fターム (4件)：
4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB02
, 4F041BA21
