特許
J-GLOBAL ID:200903065746875100
切断加工用水溶性油剤
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
中村 稔 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-342428
公開番号(公開出願番号):特開2000-160185
出願日: 1998年12月02日
公開日(公表日): 2000年06月13日
要約:
【要約】【課題】 シリコンのインゴットを、高能率、高精度に切断加工する際に使用する切断加工用水溶性油剤を提供すること。【解決手段】 pHが、20°Cで5.0〜8.0の範囲であることを特徴とするシリコンインゴット切断加工用水溶性油剤。
請求項(抜粋):
pHが、20°Cで5.0〜8.0の範囲である脆性材料の切断加工用水溶性油剤。
IPC (3件):
C10M173/00
, B24B 57/02
, C10N 40:22
FI (2件):
Fターム (23件):
4H104AA13R
, 4H104BB16C
, 4H104BB16R
, 4H104BB17C
, 4H104BB17R
, 4H104BB18C
, 4H104BB18R
, 4H104BB42R
, 4H104BB43A
, 4H104BE01R
, 4H104BE04R
, 4H104BE05R
, 4H104BE06R
, 4H104CB16A
, 4H104EA03A
, 4H104EA17A
, 4H104EA17C
, 4H104EA30Z
, 4H104FA01
, 4H104LA20
, 4H104PA50
, 4H104QA05
, 4H104RA01
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