特許
J-GLOBAL ID：200903065749724340
固体撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-054344
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250698
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】画素電極を微細化しても良好な残像特性を維持することが可能な固体撮像装置を提供する。【構成】信号電荷蓄積領域SD等を覆う第2絶縁層19の上に複数のチタン製の画素電極20が配設される。画素電極20を覆うように光電変換膜22が配設され、更にその上に透明な対向電極23が配設される。画素電極20の周辺長WLと平面積SAとの比WL/SAが0.6μm-1以上に設定される。光電変換膜22に面する画素電極20の端部の上側エッジが曲率半径を有するように形成される。その曲率半径Rsと画素電極20の膜厚Tsとの比Rs/Tsが0.25以上に設定される。これにより上側エッジにおける電界集中が解消され、残像特性が向上する。
請求項（抜粋）：
下地層と、前記下地層上に形成された複数の画素電極と、前記画素電極を覆うように形成された光電変換膜と、前記光電変換膜上に形成された対向電極とを具備し、前記画素電極の周辺長WLと平面積SAとの比WL/SAが0.6μm-1以上であり、且つ前記光電変換膜に面する前記画素電極のエッジが連続的に変化する面により規定されることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 E
, H04N 5/335 U
