角速度検出センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-222879
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055668
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】検出感度を高く維持するための構造の最適化が容易な角速度検出センサ及びそれを用いたビデオカメラやナビゲーションシステムを提供する。【解決手段】振動梁の断面形状が点対称で、断面の点対称中心を通る軸に対して線対称構造となるように溝が設けてあるシリコン振動梁1と、該シリコン振動梁1の溝の深さ方向と平行する面に成膜された加振用上部電極8、加振用下部電極7及び加振用圧電薄膜6からなり、これら膜面に垂直方向に振動梁を振動させる振動発生手段と、前記振動発生手段が形成されている面に対向する面に設けられた検出用上部電極A4、検出用上部電極B5、検出用圧電薄膜2、及び検出用下部共通電極3からなり、振動梁の長手方向と振動方向に直交する方向の歪を検出し歪量に応じた信号として出力する歪検出手段と、シリコン振動梁1を振動の節で固定支持する金属製支持梁9a〜9hと、を含んで角速度検出センサを構成する。

請求項（抜粋）：

長手方向に平行な面内で振動する振動梁と、該振動梁を前記長手方向に平行な面内で振動させる振動発生手段と、該振動梁の長手方向と振動方向とに直交する方向のたわみを検出し、たわみ量に応じた信号として出力する歪検出手段と、を備えてなり、前記振動梁が姿勢を変化させるとき、前記振動梁の長手方向に平行な方向を回転軸とする回転成分の角速度を、前記歪検出手段の出力に基づいて検出する角速度検出センサにおいて、前記振動梁の断面形状が点対称であること、前記振動梁に、その振動方向に平行でかつ断面の点対称中心を通る軸に対して断面形状が線対称構造となり、振動方向に直交する方向に深さを持つ溝が設けてあること、前記振動梁に、振動方向に直交する面に平行でかつ互いに対向する平面が形成されていること、及び前記歪検出手段は、前記互いに対向する平面のいずれか一方もしくは双方に設けられていること、を特徴とする角速度検出センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G03B 5/00

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G03B 5/00 G

Fターム (12件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB02 , 2F105BB13 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CC06 , 2F105CC07 , 2F105CD02 , 2F105CD05 , 2F105CD06 , 2F105CD13

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