イオン源装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323625
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149789
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】高電位フランジと低電位フランジとの間の絶縁体を小型化するとともに、高電位フランジ及び低電位フランジを小型化して装置の小型化を図り、低コストにする。【解決手段】接続ボルト48の頭部が高電位フランジ14の一面または筐体フランジ2の一面に形成された複数個の凹部21に位置し、軸部が高電位フランジ14を貫通し、絶縁体44の外側を通って低電位フランジ43に螺合し、接続ボルト48の頭部の周面及び軸部を絶縁物からなる覆体45により覆い、接続ボルト48の頭部の上面を、覆体45の上端部に接合した絶縁物からなる蓋体50により覆う。

請求項（抜粋）：

端部に筐体フランジを有し,プラズマを生成する筐体と、前記プラズマよりイオンビームを引き出す引出電極系と、この引出電極系の高電位電極の周縁部が装着され,一面が前記筐体フランジの一面に面した高電位フランジと、前記引出電極系の低電位電極の周縁部が装着され,一面が前記高電位フランジの他面に環状の絶縁体を介して設けられた低電位フランジと、前記高電位フランジの一面または前記筐体フランジの一面に形成された複数個の凹部と、頭部が前記凹部に位置し,軸部が前記高電位フランジを貫通し,前記絶縁体の外側を通って前記低電位フランジに螺合した接続ボルトと、この接続ボルトの頭部の周面及び軸部を覆った絶縁物からなる覆体と、前記接続ボルトの頭部の上面を覆い,前記覆体の上端部に接合した絶縁物からなる蓋体とを備えたことを特徴とするイオン源装置。

IPC (2件)：

H01J 37/08 , H01J 27/02

FI (2件)：

H01J 37/08 , H01J 27/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-100120
特開昭61-168849
特開昭62-100120

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