特許
J-GLOBAL ID：200903065753323252
半導体製造装置の停電処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-233696
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084739
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 電源電圧低下により処理が中断されたウエハを電源回復後に正常に継続して処理することにより処理不良をなくする。【構成】 制御装置9〜12は、半導体製造装置に電力を供給している電源ライン13の電圧が停電等により低下すると、電源保持手段16から給電を受けて、該電圧低下発生時に該半導体製造装置内にあるウエハの処理状態を処理状態記憶手段9-22〜12-22に記憶して保持すると共に操作端末器17に表示し、電圧低下が回復したときには、記憶された処理状態データを参照して電圧低下発生時からのウエハの処理を継続して、該ウエハに対して正常な処理を終了させて装置外に搬出する制御を実行する。従って、停電等によりウエハ処理を中断しても不良品の発生は軽減できる。
請求項（抜粋）：
ウエハを処理する処理室と、該処理室にウエハを搬出入する搬送手段と、処理室でのウエハのプロセス処理およびウエハ搬出入を制御する制御装置と、前記処理室,搬送手段および制御装置に電力を供給する電源装置とを備えた半導体製造装置において、前記制御装置は、電源電圧の低下を検知する電圧低下検知手段と、電源電圧低下時に該制御装置への電力供給を保持する電源保持手段と、ウエハ処理状態を表わすデータを記憶する処理状態記憶手段と、操作端末器と、電源電圧低下時のウエハ処理状態を前記処理状態記憶手段に記憶させると共に該ウエハ処理状態を前記操作端末器に表示させ、電圧回復時にウエハ処理の継続を支援する制御手段とを備えたことを特徴とする半導体製造装置の停電処理装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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