特許
J-GLOBAL ID：200903065756870203
レンズ収差の測定パターンと測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-202731
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044609
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 半導体装置等の製造に用いられる投影露光装置のレンズ収差を容易に測定する必要がある。【解決手段】 本発明のレンズ収差の測定パターンは、主パターン11の両側に該主パターンより細い副パターン12a,12bを備えているパターンであって、該副パターン12a,12bの大きさが該露光装置の解像限界近傍であることにより、レンズ収差により2本の該副パターン12a,12bがレンズ収差により不均一な結像特性を示すことを利用して、レンズの収差量を測定するというものである。
請求項（抜粋）：
露光装置のレンズ特性を計測するパターンであって、主パターンの両側に該主パターンより細い副パターンを備えているパターンであって、該副パターンの大きさが該露光装置の解像限界近傍であることを特徴とする、レンズ収差の測定パターン。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/02 B
, G01M 11/00 L
