特許
J-GLOBAL ID：200903065761659430
光電変換デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 望稔
, 三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-286269
公開番号（公開出願番号）：特開2008-103614
出願日： 2006年10月20日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】受光面における検出不可能部分をなくし、従来よりも遥かに優れた量子効率かつ低ノイズで、受光面に到達する電子を検出することができる、コンパクトな光電変換デバイスを提供する。【解決手段】複数のフォトダイオードの受光領域と、隣接する複数の受光領域それぞれの境界線部分に設けられた不活性領域とからなる受光面に対し、複数の受光領域それぞれと1対1に対応して複数のレンズを配し、マイクロレンズアレイの前記レンズそれぞれは、対応する受光領域に向かう光をこの受光領域へと導きつつ、対応する受光領域の周囲を囲む不活性領域に向かって到来する光を、対応する受光領域へと導く。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のフォトダイオード(PD;Photo Diode)を備え、各フォトダイオードの受光領域に到来した光に応じた電気信号を出力する光電変換デバイスであって、
前記複数のフォトダイオードの前記受光領域が配列された受光面と、
前記受光面の前記複数の受光領域それぞれと1対1に対応して配列された複数のレンズを有する、前記受光面に向かって到来する光の行路を規定するマイクロレンズアレイと、を有し、
前記受光面は、複数の前記受光領域と、隣接する複数の受光領域それぞれの境界線部分に設けられた、前記受光領域それぞれの周囲を囲む不活性領域と、からなり、
前記マイクロレンズアレイの前記レンズそれぞれは、対応する前記受光領域に向かう光を前記対応する受光領域へと導きつつ、前記対応する受光領域の周囲を囲む前記不活性領域に向かって到来する光を、前記対応する受光領域へと導くことを特徴とする光電変換デバイス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L31/10 B
, H01L27/14 K
, H01L27/14 D
4M118AA01
, 4M118AB10
, 4M118BA06
, 4M118CA02
, 4M118CA05
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5F049MA07
, 5F049NA01
, 5F049NA04
, 5F049NB05
, 5F049RA02
, 5F049RA06
, 5F049SZ20
, 5F049TA12
