特許
J-GLOBAL ID：200903065763424243
静電容量式加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-028696
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222076
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 静電容量式加速度センサの零調整および検出感度の変更を容易に行なう。【構成】 固定端24Aが下側基板22上にガラス層23を介して固定され、先端が自由端となる質量部24Cを有する可動電極24を形成する。そして、この質量部24Cの両側に、変位可能な可動薄肉部26Bを有する固定電極26,26を形成する。さらに、各可動薄肉部26B間には電極間調整用電極27,27が形成される。ここで、各固定電極26と各電極間調整用電極27との間に直流電圧を印加することで、各調整溝部25Bの隙間寸法が変位し、各検出用溝部25Aの隙間寸法も変位し、この各検出用溝部25Aから検出される静電容量を等しくする零点調整を容易に行なう。
請求項（抜粋）：
基端側が固定端となり梁を介して先端側が加速度に応じて変位する質量部となった可動電極と、基端側が固定端となり先端側が該可動電極の質量部の変位方向両側に対向して変位可能な可動薄肉部となった一対の固定電極と、該各固定電極の可動薄肉部と可動電極の質量部との間の静電容量を検出する静電容量検出手段と、該静電容量検出手段からの信号に基づいて、前記各固定電極の可動薄肉部と可動電極の質量部との間の距離を調整すべく、該各固定電極の可動薄肉部を変位させる距離調整手段とから構成してなる静電容量式加速度センサ。
IPC (2件)：
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