特許
J-GLOBAL ID：200903065765753902
複層セラミックスヒーター
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312899
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140133
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は常温から 1,100°Cという昇温、降温をくり返す試験においても支持基材と発熱層、発熱層と被覆層とが剥離することがなく、かつ高純度であることから半導体ウエハ加熱用などに好適とされる複層セラミックスヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の複層セラミックスヒーターは、電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスから発熱層を接合し、その上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる複層セラミックスヒーターにおいて、該支持基材と該発熱層の表面粗さRmaxを5μm以上としてなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、その上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる複層セラミックスヒーターにおいて、該支持基材および該発熱層の表面粗さRmaxをともに5μm以上としてなることを特徴とする複層セラミックスヒーター。
引用特許：
前のページに戻る
