特許
J-GLOBAL ID：200903065768350892
チップホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-166429
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014637
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課 題】 テーブル側電極とホルダ側電極を確実に接続するとともに、テーブル側電極からホルダ側電極を介してチップホルダに作用する回動力を小さくすること。【解決手段】 ステージテーブル上に支持されたスライドテーブル上にはホルダ装着部材42および外部引出用の導電ケーブルLに接続されたテーブル側球面電極53が支持されている。チップ71を保持するチップホルダH1が前記ホルダ装着部材42に上方から下方に移動して装着される際、ホルダ側回動電極76の回動力発生接触面76aが前記テーブル側球面電極53と接触して回動力を受ける。前記ホルダ側回動電極76は、回動するので、テーブル側球面電極53からホルダ側回動電極76を介してチップホルダH1に作用するホルダ回動力(チップホルダH1を回動させる力)は非常に小さくなる。
請求項（抜粋）：
下記の要件を備えたことを特徴とするチップホルダ、(A01)ホルダ搬送装置により着脱自在に保持される被保持部が上部に設けられ、ステージテーブル上のホルダ装着部材に上方から挿入して装着される被装着部が下部に設けられ、前記被保持部および前記被装着部の間にチップ保持部が設けられたホルダ本体、(A02)前記チップ保持部に保持されたチップと導電部材により接続されるとともに前記ホルダ本体により支持され、且つ前記被装着部が前記ホルダ装着部材に装着される際、前記ステージテーブルに支持され且つ外部引出用の導電ケーブルに接続されたテーブル側電極に接触するホルダ側電極。(A03)前記ホルダ本体およびステージテーブルの一方に支持された球面電極、ならびに、前記ホルダ本体およびステージテーブルの他方に回動可能に支持され且つ前記被装着部が前記ホルダ装着部材に装着される際、前記球面電極に接触して回動力を受ける回動力発生接触面を有する回動電極、(A04)前記球面電極および回動電極の一方により構成された前記テーブル側電極、ならびに、前記球面電極および回動電極の他方により構成された前記ホルダ側電極。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 B
, G01B 21/30 Z
