特許
J-GLOBAL ID：200903065770616948
質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-283771
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129174
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的はサンプリングコ-ンとスキマ-コ-ンの間の間隔(距離)を最適化するのに適した質量分析装置を提供することにある。【解決手段】イオン源1と質量分析部14、またこれを結合するサンプリングコ-ン3とスキマ-コ-ン4および移動距離合わせ可動部5を有し、真空系内部にイオンレンズ6と検知器16からなるものを持ち、移動距離合わせ可動部5を制御し、かつ得られたデ-タを演算し、演算した結果によって移動距離合わせ可動部5を駆動するコンピュ-タ17をもっている。これによって、サンプリングコ-ン3とスキマ-コ-ン4との最適間隔が簡単に設定される。
請求項（抜粋）：
プラズマ中に試料を導入してイオン化し、そのイオン化によって生じたイオンをサンプリングコ-ン及びスキマ-コ-ンを含むインタ-フェ-ス部を通して質量分析部に導入して質量分析する質量分析装置において、前記サンプリングコ-ンと前記スキマ-コ-ンとの間の間隔を変える手段を備えていることを特徴とする質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/04
, G01N 27/62 F
