観察装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大畑敏朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-203784
公開番号（公開出願番号）：特開2007-058199
出願日： 2006年07月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】観察装置において、観察物である加工物の観察部位を確実にかつ正確に観察することができるようにする。【解決手段】工作機械保持部110は、工作機械の基準軸と光学系(対物レンズG12)の光軸180とが一致するように、工作機械の基準軸に装着される。絞り移動機構120は絞り50を光軸180に対し垂直方向に移動させる。撮像装置130は、絞り50を通過して入射してくる観察対象としての加工物10の穴の側壁や溝の側壁の加工状態に対応する光学的な情報を電気信号に光電変換する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

観察物における所定の観察部位を観察する観察装置であって、前記観察部位に対応する光学像を得るための光学系と、開口部の中心が前記光学系の光軸から離芯して配置され、前記光学像の光量を調節する絞りと、前記絞りを前記光学系の光軸に対し垂直方向に移動させる絞り移動手段と、を有することを特徴とする観察装置。

IPC (2件)：

G02B 21/24 , G02B 21/36

FI (2件)：

G02B21/24 , G02B21/36

Fターム (7件)：

2H052AB01 , 2H052AC29 , 2H052AD29 , 2H052AD35 , 2H052AF03 , 2H052AF14 , 2H052AF25

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平04-125609号公報
柱状物体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-256789 出願人：日立エンジニアリング株式会社, 株式会社ワタナベ光機

審査官引用 (6件)

観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-058575 出願人：株式会社ニコン
走査像観察方法および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-055076 出願人：日本電子株式会社
観測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-316847 出願人：後藤良一, 泉多一勲

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