特許

J-GLOBAL ID：200903065781998079

平坦製品の表面形状寸法及び平面度のための測定装置

発明者： ミュラー、ウルリヒ ,  ゾンネンシャイン、デートレフ ,  ビンター、デートレフ ,  ペウカー、グスタフ ,  ストックマイヤー、ルドルフ
出願人/特許権者： ベトリープスフォルシュンクスインスティトゥート・ファウデーエーハー・インスティトゥート・フュア・アンゲバンテ・フォルシュンク・ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-570530
公開番号（公開出願番号）：特表2002-525563
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】【課題】本発明はプロジェクター及びスライドを用いて測定面上にパターンを発生させる装置に関する。【解決手段】この装置は測定システムの種々の好都合な実施の形態を有する。

請求項（抜粋）：

光源及びカメラを用いて測定面にパターンを発生させることによって平坦製品の形状寸法及び平面度を測定する装置において、 スライド51,52を用いて測定面4上にパターンが投射によって発生されること、を特徴とする装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/04

FI (3件)：

G01B 11/04 H ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 G

Fターム (15件)：

2F065AA22 ,  2F065AA52 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC06 ,  2F065EE09 ,  2F065FF04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN11 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07

引用特許：

審査官引用 (10件)

• 物体をマッピングする装置および方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-522498   出願人：ケラビジョン,インコーポレイテット
• 特開昭61-175511
  
• 特開平4-220509
  
• 特開平4-296100
  
• 3次元計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-142831   出願人：ミノルタ株式会社
• 特開昭51-081646
  
• 特開昭61-175511
  
• 特開平4-220509
  
• 特開平4-296100
  
• 特開昭51-081646