特許
J-GLOBAL ID:200903065798830791

閉鎖部材の作動システムおよびそのシステムの閉鎖部材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷 義一 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-209716
公開番号(公開出願番号):特開平6-227572
出願日: 1993年08月24日
公開日(公表日): 1994年08月16日
要約:
【要約】【目的】 汚染、さらに衝撃,振動,静電気およびタンパリングから内部に包含された物品を同時に保護する。【構成】 再使用可能な隔離構造体100は容易にクリーンにできる殻体110を特徴とする。殻体110の開口90の内周面には溝が全周にわたり形成されている。閉鎖部材(ドア)112は開口90に嵌まり合う寸法とされバックボーン124の周囲にフロントおよびリアプレート123,125によってクランプされる弾性シール部材113を有している。弾性シール部材113の内部には、該シール部材をバキュームまたは加圧によりつぶしたり、拡張するための空間が設けられ、これに連通するマニホルド130が形成されている。閉鎖部材を取扱うバキューム構造体214は、弾性シール部材の排気および制御されたつぶれ、さらにはその外部の汚染物の保持を同時にもたらす。
請求項(抜粋):
a) 1)閉鎖部材(112)の周囲の少なくとも一部に配置され前記閉鎖部材と共に第1容積部(180)を画成する弾性部材(113)と、2)前記第1容積部および前記閉鎖部材の表面間にガスおよびガス圧を連通するマニホルド(170)とを有する閉鎖部材(112)、b)前記閉塞部材の表面(123)に適用され前記閉塞部材の前記表面との間に第2容積部を画成する構造体(214)、c)前記第2容積部内を部分的にバキューム引きする手段(190,219,220,221)、およびd)前記閉鎖部材の開口(131)を通して前記第2容積部から前記マニホルド、前記第1容積部に前記部分バキュームを連通する手段、を備えたことを特徴とする閉鎖部材の作動システム。
IPC (5件):
B65D 81/20 ,  B65D 8/18 ,  B65D 85/38 ,  B65D 85/57 ,  H01L 21/68

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