特許
J-GLOBAL ID：200903065803463573
移動ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161314
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343355
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 テーブルの中央において鉛直方向の位置決めを行う構成でありながら、テーブル自体の剛性を高めることなく、重量のある物体を載置してもテーブルの湾曲の程度が抑えられる移動ステージを、提供する。【解決手段】Z方向にのみ移動可能にガイドされたZ軸スライダ連結板24の裏面中央には、スライダ22のカム22cによって押し上げられる一対のローラ25が保持されている。このZ軸スライダ連結板24の表面上には、その中央を囲む複数位置にてこのZ軸スライダ連結板24の表面に接する台座がその裏面に取り付けられたテーブルが、載置されている。
請求項（抜粋）：
ベースと、前記ベースに対して略鉛直方向に移動可能にガイドされた中間部材と、この中間部材の裏面における中央において、この中間部材を押し上げることによってこの中間部材の位置決めを行う位置決め機構と、物体をその表面上に載置するために前記中間部材の表面上に配置されたテーブルと、前記中間部材の表面における中央を避けてこの中央を囲む複数点にて、この中間部材の表面と前記テーブルの裏面との間に介在しており、前記テーブルを前記前記中間部材の表面上に保持する複数の台座とを備えたことを特徴とする移動ステージ。
Fターム (4件)：
3C048BB12
, 3C048BB20
, 3C048DD28
, 3C048EE08
