特許
J-GLOBAL ID：200903065806527483
基板搬送装置およびその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-259589
公開番号（公開出願番号）：特開平7-115120
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【構成】基板キャリア102を搬送方向に平行なすき間を有する搬送ケース103に収納し、すき間を線形磁性流体シール104によって封止し密閉搬送空間を形成する。搬送方向に可動で、線形磁性流体シール104を貫通する非磁性材料の運動伝達板105によって、駆動機構106と基板キャリア102を接続する。永久磁石107の対を、基板キャリア102と搬送ケース103に反発力が発生するように配置し、基板キャリア102の重量を非接触で支持ながら搬送する。【効果】浮上制御を必要としない簡単な構造で、塵埃汚染及び不純物汚染の無い一貫した清浄環境下で基板を連続的に搬送することができる。
請求項（抜粋）：
基板及び前記基板を搭載する基板キャリアを、搬送経路に沿って延長された搬送ケースの内部に設置し、前記搬送ケースの外部に設置された駆動機構によって前記基板キャリアを駆動する基板搬送装置において、前記搬送ケースの密閉状態を維持しながら、前記駆動機構の搬送運動を前記基板キャリアに伝達する手段として、前記搬送ケースの一部に、0.1mm以上、0.5mm以下の搬送経路に沿ったすき間を設け、シール用永久磁石で保持された磁性流体によって前記すき間をシールする1又は複数段の線形磁性流体シールを構成し、前記線形磁性流体シールを貫通する1又は複数の非磁性材料の運動伝達板によって、前記駆動機構と前記基板キャリアを接続したことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 47/52 101
, B65G 49/07
