特許
J-GLOBAL ID:200903065816997038

弾性表面波フィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-006088
公開番号(公開出願番号):特開平7-212175
出願日: 1994年01月25日
公開日(公表日): 1995年08月11日
要約:
【要約】【目的】信号ラインの配線幅を縮小し、従来と同一のチップサイズで高帯域外減衰量を有する弾性表面波フィルタを実現する。【構成】圧電体基板1上に複数個の弾性表面波共振子2、3を形成し、前記弾性表面波共振子2,3を縦続接続することにより構成した弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波共振子2,3間を接続する信号ライン6、あるいは前記弾性表面波共振子2,3と入出力電極パッド4または接地電極パッド5とを接続する信号ライン、あるいは入出力電極パッド4または接地電極パッド5の少なくとも一部が、前記弾性表面波共振子を形成する導電性膜と同じ材料により形成され、かつ前記導電性膜よりも膜厚が厚く形成された構成とする。
請求項(抜粋):
圧電体基板上に複数個の弾性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続接続することにより構成した弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波共振子間を接続する信号ライン、あるいは前記弾性表面波共振子と入出力電極パッドまたは接地電極パッドとを接続する信号ライン、あるいは入出力電極パッドまたは接地電極パッドの少なくとも一部が、前記弾性表面波共振子を形成する導電性膜と同じ材料により形成され、かつ前記導電性膜よりも膜厚が厚く形成されたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。

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