特許
J-GLOBAL ID：200903065817891489
シリカ系被膜形成用塗布液及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298736
公開番号（公開出願番号）：特開平9-137121
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 熱処理時のガス発生に起因するトラブルのない、しかも保存安定性の良好な、微細配線パターンの形成に十分に対応できるシリカ系被膜形成用塗布液を提供する。【解決手段】 トリアルコキシシランの酸加水分解生成物を含有するアルキレングリコールジアルキルエーテルを溶媒とする溶液から成り、溶媒除去後の被膜形成成分が熱重量測定に際し、重量増加を示し、また赤外吸収スペクトルにおいて、3000cm-1付近にピークを有しないシリカ系被膜形成用塗布液とする。
請求項（抜粋）：
トリアルコキシシランの酸加水分解生成物を含有するアルキレングリコールジアルキルエーテルを溶媒とする溶液から成り、溶媒除去後の被膜形成成分が熱重量測定に際し、重量増加を示すことを特徴とするシリカ系被膜形成用塗布液。
IPC (2件)：
C09D183/04 PMT
, H01L 21/316
C09D183/04 PMT
, H01L 21/316 G
