感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：諸田英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-093815
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295431
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 αβ不飽和結合によるポリエン-チオール系架橋反応を利用するものであり、現像時の膜減りを低減させ、薄い膜厚による解像度の向上、金属配線の腐食の防止、金属配線との密着力向上を可能とするポリイミド系感光性樹脂組成物とその製造方法を提供する。【解決手段】(A)次の繰返し単位をもつポリイミド前躯体、(B)次の一般式で示される多官能性ポリエン化合物、(C)次の一般式に示される多官能性チオール化合物、(D)上記ポリイミド前躯体を製造するにあたり用いる脱水縮合剤、(E)活性光線に対する感度を向上させるために用いる感光剤および(F)溶剤からなる感光性樹脂組成物とその製造方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の繰返し単位をもつポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -もしくは-C(CF3 )2 -で結合された4価の有機基であり、R2 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -もしくは-C(CF3 )2 -で結合された2価の芳香族基であり、R3 、R4 は、ヒドロキシル基又は-O-もしくは-NH-を介して結合するとともにαβ不飽和結合を有する有機基であり、そしてnは1以上の整数である)(B)次の一般式で示される多官能性ポリエン化合物、【化2】R5 -(CH=CH2 )m(但し、式中、R5 は、m個のαβ不飽和結合が、単結合又は-O-、-CO-、-CH2 -、-SO2 -もしくは-NH-を介して結合する有機基であり、mは2〜4の整数である)(C)次の一般式に示される多官能性チオール化合物、【化3】R6 -(CH2 -SH)x(但し、式中、R6 は、1〜3個のチオール基が、単結合又は-O-、-CO-、-CH2 -、-SO2 -もしくは-NH-で結合する有機基であり、xは1〜3の整数である)(D)上記ポリイミド前躯体を製造するにあたり用いる脱水縮合剤、(E)活性光線に対する感度を向上させるために用いる感光剤および(F)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/027 514 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/027 514 , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (14件)：

2H025AA01 , 2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC69 , 2H025CA00 , 2H025CC03 , 2H025CC06 , 2H025CC20

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