特許
J-GLOBAL ID：200903065822842488
半導体基板の搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-158635
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330649
出願日： 1992年05月26日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 半導体基板の種類や状態に影響されることなく、また、基板保持部材での検出位置も制限なく、基板保持部材における半導体基板の有無を非接触で確実に検出することができるようにする。【構成】 ウエハ1が載置されるハンドリング部2を、その基部2aにおいて支軸10を介してアーム部3上に少なくとも下方へ回動自在に支持する。支軸10の前方においてアーム部3上に圧力センサ4を設け、この圧力センサ4にハンドリング部2の基部2a近傍を上方から当接させる。ハンドリング部2に加わるウエハ1の荷重を圧力センサ4により検出し、この検出値に基づいて、ウエハ有無判別部5はウエハ1の有無を判別して判別信号を制御部7へ出力する。制御部7がアーム駆動部6を制御し、アーム部3即ちハンドリング部2が移動される。
請求項（抜粋）：
半導体基板を保持する基板保持部材と、この基板保持部材を移動させる駆動手段と、この駆動手段を制御する制御手段とを有する半導体基板の搬送装置において、前記基板保持部材が前記半導体基板を保持することによりその基板保持部材に加わる荷重を検出する荷重検出手段と、この荷重検出手段による検出値に基づいて前記基板保持部材における前記半導体基板の有無を判別して判別信号を前記制御手段に出力する基板有無判別手段とを具備することを特徴とする半導体基板の搬送装置。
IPC (2件)：
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