溝付きガラス基板

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-060112
公開番号（公開出願番号）：特開平5-265034
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】補助容量が大きく且つ開口率の高い薄膜トランジスタ・ディスプレイを提供する。【構成】溝付きガラス基板11の表面には、側壁に傾斜を有する複数の溝13が設けられる。この溝13の側壁に、CVD等によってメタル薄膜14,絶縁体薄膜15および透明メタル薄膜16を順次積層して補助キャパシタを形成する。さらに表面をエッチングして平坦化する。こうして、ガラス基板の溝内に補助キャパシタを形成することによって、必要最小面積で十分な補助容量を有する補助キャパシタを形成し、開口率の高い薄膜トランジスタ・ディスプレイを提供する。

請求項（抜粋）：