特許

J-GLOBAL ID：200903065834899060

2波長反射防止膜

発明者： 鈴木 操 ,  押川 識 ,  入江 則行 ,  平山 義一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034771
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244202
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】 第一波長λ1 =248.4nm 近辺の反射防止帯域を広くし、第一波長λ1=248.4nm での反射率を低くし、第2波長λ2 に対する透過率を高くし、且つ、第一波長λ1 =248.4nm における光学的損失(吸収)を小さくする。【構成】 第1波長λ1 =248.4nm 近辺と第1波長より長波長側の第2波長λ2近辺に反射率の極小を持つ2波長反射防止膜において、反射防止膜を「高屈折率層3、5と中間屈折率層2、4との交互多層膜と媒質側の最終層である低屈折率層6」で構成し、高屈折率層3、5としてZrO2、HfO2、Sc2O3 、Y2O3のいずれかを使用し、中間屈折率層2、4としてAl2O3 、MgO を使用し、低屈折率層6としてMgF2、CaF2、Na3AlF6 、LiF 、AlF3、SiO2のいずれかを使用し、低屈折率層6に隣接する高屈折率層5の光学的膜厚を極端に薄くする。

請求項（抜粋）：

第1波長λ1 =248.4nm 近辺と第1波長より長波長側の第2波長λ2 近辺に反射率の極小を持つ2波長反射防止膜において、反射防止膜を「高屈折率層と中間屈折率層との交互多層膜と媒質側の最終層である低屈折率層」で構成し、前記高屈折率層としてZrO2、HfO2、Sc2O3 、Y2O3のいずれかを使用し、前記中間屈折率層としてAl2O3 、MgO を使用し、前記低屈折率層としてMgF2、CaF2、Na3AlF6 、LiF 、AlF3、SiO2のいずれかを使用し、前記低屈折率層に隣接する高屈折率層の光学的膜厚を極端に薄くしたことを特徴とする2波長反射防止膜。

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  G02B 5/28