特許

J-GLOBAL ID：200903065849536702

液体脱気装置

発明者： 岡口 明
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-338941
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162100
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】脱気チャンバーを小型化しても脱気チューブの外壁に水滴が結露せず、脱気チューブの脱気能力を低下させることのない液体脱気装置を提供する。【解決手段】減圧されたチャンバーの中に配設された、気体分子は通し、液体分子は通さない素材でできたチューブに、溶存気体を含んだ液体を通し、該液体から溶存気体を除去する液体脱気装置において、前記チャンバーの壁に気体をチャンバー内部へ導入するためのリーク孔を設けた。また、前記チャンバーの壁に設けられたリーク孔に、気体のリーク用抵抗チューブを取り付けた。

請求項（抜粋）：

減圧されたチャンバーの中に配設された、気体分子は通し、液体分子は通さない素材でできたチューブに、溶存気体を含んだ液体を通し、該液体から溶存気体を取り除く液体脱気装置において、前記チャンバーの壁に気体をチャンバー内部へ導入するためのリーク孔を設けたことを特徴とする液体脱気装置。

IPC (3件)：

G01N 1/10 ,  B01D 19/00 101 ,  G01N 35/10

FI (3件)：

G01N 1/10 J ,  B01D 19/00 101 ,  G01N 35/06 K

Fターム (7件)：

2G058BA08 ,  2G058GA01 ,  2G058HA00 ,  4D011AA16 ,  4D011AA17 ,  4D011AC08 ,  4D011AC10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 液中の溶存ガスの除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-033443   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-133617   出願人：株式会社島津製作所