基板処理システム、および基板処理システムの処理レシピデ-タを記録した記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川崎実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-374261
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195769
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】処理レシピ数の増加に伴う必要記憶容量の増加を抑制する。【解決手段】基板処理システムを構成する複数の処理ユニットは、実行可能な個別処理レシピの種類数に応じて、ブロックB1,B2,B3,B4にブロック分けされている。ブロックB1は、1〜30の個別レシピ番号の個別レシピが実行可能な複数の処理ユニットを含む。ブロックB2,B4は、1〜9の個別レシピ番号の個別レシピが実行可能な複数の処理ユニットをそれぞれ含む。ブロックB3は、1〜999の個別レシピ番号の個別レシピが実行可能な処理ユニットを含む。基板処理システムは、1〜999のレシピを実行できる。レシピ番号変換テーブルTCにより、レシピ番号1〜999に対して、1〜30,1〜9、1〜999の個別レシピ番号が各ブロックの処理ユニットに引き当てられ、その個別処理レシピ番号に対応した処理が各ユニットにおいて実行される。

請求項（抜粋）：

基板を処理するための複数の処理ユニットと、この複数の処理ユニットにそれぞれ備えられた複数の個別制御装置と、この複数の個別制御装置とネットワークを介して接続された主制御装置とを含む基板処理システムであって、上記主制御装置は、当該基板処理システムによって基板に施されるべき処理レシピを指定するための処理レシピ識別情報から、個々の処理ユニットによって基板に施されるべき個別処理レシピを指定するための個別処理レシピ識別情報を引き当てる識別情報変換手段と、この識別情報変換手段によって引き当てられた個別処理レシピ識別情報を上記ネットワークを介して個々の処理ユニットの個別制御装置に配信する個別処理レシピ識別情報配信手段とを含むものであり、各個別制御装置は、個別処理レシピ識別情報と個別処理レシピの内容を表す個別処理レシピデータとを対応付けて記憶した個別処理レシピ記憶手段を含み、上記主制御装置によって配信される個別処理レシピ識別情報に対応した個別処理レシピデータに従って当該処理ユニットを制御するものであることを特徴とする基板処理システム。

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