特許

J-GLOBAL ID：200903065853547530

X線透過窓およびその製造方法

発明者： 熊坂 文明 ,  山下 良美 ,  堀内 敬 ,  奈良 安雄
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-242047
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082419
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】 SOR 装置等の高真空中で発生したX線を大気圧の環境中に設置された試料に照射するための窓に関し,10Åまたはそれ以上の長波長のX線に対して高透過率を有する窓を提供することを目的とする。【構成】 例えば直径数/10mm,長さ100mm の細管を数千本束ねて接合して所定面積の窓を形成する。この窓の形成方法の一例としては,エッチングされやすい材料から成る芯線上にエッチングされ難い材料から成る皮膜を形成し, このような芯線を所定本数束ねて接合したのち, 芯線をエッチングで除去する。上記寸法例の細管から成る窓は, その両側に大気圧とその1/10程度の圧力差を維持できる。高真空のX線光源と上記窓とを, 所定寸法のオリフィスが設けられた隔壁を介して接続された多段型の差動排気装置で接続する。

請求項（抜粋）：

各々が所定の内径および長さを有する細管の所定本数を互いに平行に束ねて接合して形成されことを特徴とするX線透過窓。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 331 A ,  H01L 21/30 331 S