特許
J-GLOBAL ID：200903065854737678
インクジェット記録ヘッド、及び製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 勝彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269190
公開番号（公開出願番号）：特開平9-085949
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【目的】 シリコン単結晶基板を使用したインクジェット記録ヘッドにおける駆動電圧の引き下げと、振動板の耐久性と弾性を高めること。【構成】 異方性エッチングにより圧力発生室4が形成されたシリコン単結晶基板1と、表面にたわみ振動モードの圧電振動子10が固定された振動板8と、ノズル開口2が穿設されたノズルプレート3からなるインクジェット記録ヘッドにおいて、振動板8を金属の蒸着層で形成して圧力発生室に露出させる。金属層はシリコンに比較して靭性と弾性に富むからシリコンに比較して薄く構成でき、圧力発生室を効率良く容積変化させることが可能となる。
請求項（抜粋）：
異方性エッチングにより圧力発生室が形成されたシリコン単結晶基板と、前記圧力発生室の一方を封止し、表面にたわみ振動モードの圧電振動子が固定された振動板と、前記圧力発生室の他方の面を封止し、インク滴吐出用のノズル開口が穿設されたノズルプレートとからなるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記振動板は、支持領域で二酸化シリコンの層を介して前記シリコン単結晶基板に固定され、また前記圧力発生室領域で前記二酸化シリコンの層を介すること無く耐蝕性を備えた金属の蒸着層により形成されているインクジェット記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
