特許

J-GLOBAL ID：200903065855957248

基板収納ケース

発明者： 小林 二郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-077804
公開番号（公開出願番号）：特開平11-278659
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】 蓋部を開けてレチクル等の基板を出し入れする際に、容易に基板を取り扱える構造とした基板収納ケースを提供することを課題とする。【解決手段】 基板(43)を支持する基板支持部(411)と、上記基板支持部(411)を包囲可能な複数の側面部(412,413,424,425)と、上記基板支持部(411)と対向し開閉可能な上面部(421)とを備え、上記基板(43)を収納する箱状の基板収納ケースにおいて、上記複数の側面部(412,413,424,425)のうちの少なくとも2つの側面部(424,425)が上記上面部(421)に形成されているよう構成することにより、蓋部(42)を開けてレチクル等の基板(43)を出し入れする際に、容易に基板(43)を取り扱える。

請求項（抜粋）：

基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部を包囲可能な複数の側面部と、前記基板支持部と対向し開閉可能な上面部とを備え、前記基板を収納する箱状の基板収納ケースにおいて、前記複数の側面部のうちの少なくとも2つの側面部が前記上面部に形成されていることを特徴とする基板収納ケース。

IPC (5件)：

B65G 49/06 ,  B65D 85/86 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/06 Z ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R ,  H01L 21/30 503 E