特許

J-GLOBAL ID：200903065871352194

エッチング装置

発明者： 上田 龍二 ,  藤井 芳博 ,  菊地 久和 ,  掛橋 達朗 ,  堀井 和之
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151522
公開番号（公開出願番号）：特開平9-003661
出願日： 1995年06月19日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】エッチング時の寸法調整にあたっての不便、不具合を解消し、簡明な構造にて容易に寸法調整を行うことができるようにする。【構成】エッチングチャンバー内を連続して搬送される長尺帯状の金属基板に対し、複数のスプレーノズルよりエッチング液をスプレーするスプレーエッチング装置において、エッチングチャンバー内の金属基板とスプレーノズルとの間に、一方の端辺がエッチングチャンバー内の金属基材搬入口側付近と接続し、もう一方の端辺が金属基材搬送方向に適宜平行移動可能な、少なくとも金属基材を覆う幅を持つスライド式の遮蔽板もしくは遮蔽シートを設け、前記遮蔽板もしくは遮蔽シートが展張した領域で金属基材へのエッチング液の接触を妨げることにより、金属基材のエッチング時間の調整を行う。

請求項（抜粋）：

エッチングチャンバー内を連続して搬送される長尺帯状の金属基板に対し、複数のスプレーノズルよりエッチング液をスプレーするスプレーエッチング装置において、エッチングチャンバー内の金属基板とスプレーノズルとの間に、一方の端辺がエッチングチャンバー内の金属基材搬入口側付近と接続し、もう一方の端辺が金属基材搬送方向に適宜平行移動可能な、少なくとも金属基材を覆う幅を持つスライド式の遮蔽板もしくは遮蔽シートを設け、前記遮蔽板もしくは遮蔽シートが展張した領域で金属基材へのエッチング液の接触を妨げることにより、金属基材のエッチング時間の調整を行うことを特徴とするエッチング装置。

IPC (2件)：

C23F 1/08 103 ,  H01L 21/306

FI (2件)：

C23F 1/08 103 ,  H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭57-092179
  
• 特開昭58-048667
  
• 特開昭57-092179
  
• 特開昭58-048667