特許

J-GLOBAL ID：200903065884048672

インクジェットヘッドの製造方法

発明者： 佐武 健一 ,  林 政克 ,  馬場 弘一 ,  住田 圭介 ,  八田 順子 ,  辻 清治 ,  林 昌毅 ,  藤島 正之 ,  倉増 浩二
出願人/特許権者： 三田工業株式会社
代理人 (1件)： 稲岡 耕作 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-146216
公開番号（公開出願番号）：特開平11-334087
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】 金属製の振動板の、複数の加圧室に対応した領域がいずれも歪みのない均一な形状を有するために、各加圧室上の圧電膜の撓み変形特性、ひいては各ノズルからのインクの吐出性能が均一かつ良好で、良好な画像を形成できるインクジェットヘッドを製造しうる、新規な製造方法を提供する。【解決手段】 振動板2と、基板1のうち少なくとも振動板2と接する部分(溝板1a)とを先に接合、一体化したのち、振動板2上に、圧電膜3を含む圧電素子を形成する。

請求項（抜粋）：

複数の加圧室が配列された基板上に、金属製の振動板を介して、圧電膜を含む圧電素子が形成されたインクジェットヘッドを製造する方法であって、あらかじめ振動板と、基板のうち少なくとも振動板と接する部分とを接合、一体化したのち、振動板上に圧電素子を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A