特許
J-GLOBAL ID：200903065886064470
多層ワークのX線画像と光学系画像の同時映し出し装 置及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 政雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-210095
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281598
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】X線放射による多層板の内層画像と、光学系による多層板の表面実装の画像を同一のモニタ-又は別個のモニタ-に同時に映し出せるようにする。そしていままで出来なかった多層ワ-ク板に実装されたIC回路と半田付けの状態の検査ができるようにし、且つ多層ワ-クの一部の回路修正において、他の層の回路を損傷させずに修正が行え、さらに実装基板において、未半田付部分等を半田付けし、又は半田ブリッジになっている部分を除去するための検査が確実にできる。【構成】X線放射により多層ワ-クの内層におけるX線像を検出して画面に映し出すモニタ-と、前記多層ワ-クの表面実装の像を検出するための光学系と、その光学系によって検出した表面実装の像をX線像と同一画面に映し出す前記モニタ-の他に、前記X線像と別個の画面に同時に映し出すモニタ-とから成る。
請求項（抜粋）：
X線放射により多層ワ-クの内層におけるX線像を検出して画面に映し出すモニタ-と、前記多層ワ-クの表面実装の像を検出するための光学系と、その光学系によって検出した表面実装の像をX線像と同一画面に映し出す前記モニタ-の他に、前記X線像と別個の画面に同時に映し出すモニタ-とから成ることを特徴とする多層ワ-クのX線画像と光学系画像の同時映し出し装置。
IPC (5件)：
G01N 23/04
, A61B 6/00 300
, H01L 21/66
, H05K 3/34 512
, H05K 3/46
