特許

J-GLOBAL ID：200903065892723435

ラッチ(latching)型熱駆動マイクロリレー素子

発明者： ブーイャン チョイ ,  キュンホ パーク ,  ジョンヒュン リー ,  ヒュンジョン ユー
出願人/特許権者： 財団法人韓国電子通信研究所
代理人 (1件)： 富田 和子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-163401
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161640
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 集積化が可能な超小型のラッチ型熱駆動マイクローリレー素子を提供する。【解決手段】 所定の体積を持ち、その内部の空気を加熱するヒータ12が設置されている能動貯蔵庫10と、能動貯蔵庫10と所定の間隔に離隔されてその内部にヒータ42が設置されている、同一な体積を持つ受動貯蔵庫40と、能動貯蔵庫10と受動貯蔵庫40の間の空間に延長されて液体金属50の移動路としての役割を果すチャンネル20と、互いに離隔されてチャンネル20の所定の領域で各々チャンネルの内部に一端が挿入され外部に伸びる第1信号電極30と、第1信号電極30と一定の間隔に離隔されて同一な形状で形成された第2信号電極32と、チャンネルの内部に実装されて第1信号電極30と第2信号電極32の接点としての役割を果す液体金属50と、半導体基板100の上、下側面に接合された上、下部ガラス基板120,130を含む。

請求項（抜粋）：

半導体基板100のバルク内に所定の体積を持ち、その内部の空気を加熱するヒータ12が設置されている能動貯蔵庫10と、上記の能動貯蔵庫10と所定の間隔に離隔されてその内部にヒータ42が設置されている、同一な体積を持つ受動貯蔵庫40と、上記の能動貯蔵庫10と受動貯蔵庫40の間の空間に延長されて接点金属である液体金属50の移動路としての役割を果すチャンネル20と、互いに離隔されて上記のチャンネル20の所定の領域で各々チャンネルの内部に一端が挿入されて外部に伸びる第1信号電極31,32と、上記の第1信号電極31,32と一定の間隔に離隔されて同一な形状で形成されている第2信号電極34,35と、上記のチャンネルの内部に実装されて第1信号電極31,32と第2信号電極34,35の接点としての役割を果たす液体金属50と、半導体基板100の上、下側面に接合されている上、下部ガラス基板120,130とを含むことを特徴とするラッチ型熱駆動マイクローリレー素子。

IPC (3件)：

H01H 61/00 ,  H01H 29/00 ,  H01H 61/01

FI (3件)：

H01H 61/00 T ,  H01H 29/00 A ,  H01H 61/01 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特公昭58-012692