特許
J-GLOBAL ID：200903065894234920
レーザマーキング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
神崎 真一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-313650
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129678
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【構成】 混合ガスが充満されるガスチャンバ1内に第1電極11と第2電極12とが対向して配設される。少なくとも第2電極は複数個が積層して配置され、各第2電極と第1電極との間に複数個の放電空間13が形成される。各放電空間の両側に配設されたフロントミラーとリヤミラーは、それら放電空間13に共通に設けられる。上記各第2電極12はそれぞれスイッチ手段30を介して放電回路28に接続され、各スイッチ手段30の開閉制御により、各放電空間13から独立してレーザ光線を励起することができる。ガスチャンバ1内に複数の放電空間13を形成しているので、ガスチャンバ1内に1つの放電空間を形成する場合に比較して、装置全体を小型に製造することができる。
請求項（抜粋）：
混合ガスが充満されるガスチャンバと、このガスチャンバ内に対向させて配設した第1電極と第2電極と、上記第1電極と第2電極との対向面間に形成した放電空間の両側に配設したフロントミラーとリヤミラーと、上記両電極に接続した放電回路とを備えたレーザ装置において、上記ガスチャンバ内に、少なくとも上記第2電極を絶縁材を介して複数個積層配置して、各第2電極と第1電極との間に複数個の放電空間を形成し、上記フロントミラーとリヤミラーとを、各第2電極と第1電極との対向面間に形成した複数の放電空間に共通に配設し、さらに各第2電極のそれぞれをスイッチ手段を介して放電回路に接続したことを特徴とするレーザマーキング装置。
IPC (2件)：
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