特許
J-GLOBAL ID：200903065899335775
イオン照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153012
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320509
出願日： 1996年05月23日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 フィラメントから放出される熱電子のファラデーカップに対するエネルギーおよびリフレクタ電極から放出される二次電子のファラデーカップに対するエネルギーを小さくして、基板の負帯電を小さく抑制する。【解決手段】 プラズマ生成容器14a内で作ったプラズマ24を、引出し電極32によって、かつコイル36による磁束Bでガイドして、ファラデーカップ8内に導く。ファラデーカップ8内にはリフレクタ電極46を設けている。アーク電源42の負極をフィラメント電源22の負極に接続している。リフレクタ電極46および引出し電極32をフィラメント電源22の正極に接続している。フィラメント電源22の負極とファラデーカップ8間に前者を負極側にしてエネルギー設定電源62を接続し、この電源の出力電圧を10V以下にしている。
請求項（抜粋）：
基板を保持するホルダと、このホルダの上流側に設けられていて二次電子のアースへの逃げを防止する筒状のファラデーカップとを備え、このファラデーカップ内を通してイオンビームをホルダ上の基板に照射して当該基板に処理を施すイオン照射装置において、前記ファラデーカップの壁面の一部に設けられた孔と、この孔の外側近傍に設けられていて内部にガスが導入されかつファラデーカップ側に小孔を有するプラズマ生成容器と、このプラズマ生成容器内に設けられたフィラメントと、前記ファラデーカップ内の壁面付近にそれから電気的に絶縁して設けられていて前記ファラデーカップの孔に対応する位置に孔を有する筒状のリフレクタ電極と、前記プラズマ生成容器の小孔の出口側近傍とこのリフレクタ電極の孔の部分とを連通させるように、かつ前記ファラデーカップの孔を電気絶縁を保って貫通するように設けられた有底筒状のものであって、その底部に前記プラズマ生成容器の小孔に相対向する小孔を有する引出し電極と、前記プラズマ生成容器内からこの引出し電極内にかけての領域に、それらの軸方向に沿う磁束を発生させる磁束発生手段と、前記フィラメントの両端部に接続された直流のフィラメント電源と、このフィラメント電源の負極と前記プラズマ生成容器との間に前者を負極側にして接続された直流のアーク電源と、前記フィラメント電源の負極と前記ファラデーカップとの間に前者を負極側にして接続された直流のエネルギー設定電源とを備え、更に前記リフレクタ電極および引出し電極を前記フィラメント電源の正極に接続し、かつ前記エネルギー設定電源の出力電圧を10V以下にしていることを特徴とするイオン照射装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 37/20
, H01L 21/265
H01J 37/317 Z
, C23C 14/48 C
, H01J 37/20 G
, H01L 21/265 N
