特許

J-GLOBAL ID：200903065904189138

バリア性フィルムの製造方法及び装置、並びにバリア性フィルム

発明者： 市村 公二 ,  坂元 寿
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323221
公開番号（公開出願番号）：特開2001-139708
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】 バリア性フィルムの品質の安定性を向上することができるバリヤ性フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】 フィルム状の基材1を連続的に走行させながら、その走行中の基材1の表面1aにプラズマCVD法を利用してバリア層2を成膜するバリア性フィルムの製造方法において、バリア層2の成膜前に基材1の裏面1bをプラズマ処理によって改質し、基材1の水分の放出を抑える。成膜前の前処理で基材1の裏面1bが改質され、水分の放出が抑えられているので、成膜時に基材1の成膜ドラムとの密着面から水分が蒸発することなく、成膜等の品質が高く維持される。

請求項（抜粋）：

フィルム状の基材を連続的に走行させながら、その走行中の前記基材の表面にプラズマCVD法を利用してバリア層を成膜するバリア性フィルムの製造方法において、前記バリア層の成膜前に前記基材の裏面を改質し、前記基材の水分の放出を抑えることを特徴とするバリア性フィルムの製造方法。

IPC (6件)：

C08J 7/00 302 ,  C08J 7/00 CEZ ,  C08J 7/06 CEZ ,  C23C 16/513 ,  C23C 16/02 ,  C08L101:00

FI (6件)：

C08J 7/00 302 ,  C08J 7/00 CEZ ,  C08J 7/06 CEZ Z ,  C23C 16/513 ,  C23C 16/02 ,  C08L101:00

Fターム (20件)：

4F006AA35 ,  4F006AA38 ,  4F006AB76 ,  4F006BA05 ,  4F006CA07 ,  4F006DA01 ,  4F006EA03 ,  4F073AA32 ,  4F073BA23 ,  4F073BA29 ,  4F073BB01 ,  4F073BB09 ,  4F073CA01 ,  4F073CA21 ,  4K030AA06 ,  4K030BA44 ,  4K030CA07 ,  4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030LA24