露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271448
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097986
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】光学系の性能を測定する際に干渉縞を容易に得ることができ、したがって光学系の性能を正確に測定できる露光装置を提供すること。【解決手段】露光用レーザ光としてKrFエキシマレーザ光を用いる露光装置において、KrFエキシマレーザ発振器1から出射されるKrFエキシマレーザ光の発振波長を、波長496.5nmのArレーザ光の2倍高調波の波長248.25nmに一致させたことを特徴とするもの。露光装置の投影レンズ6の性能(収差)を干渉計を用いて測定する際の収差測定用レーザ光として、波長496.5nmのArレーザ光の2倍高調波を用いることができる。これによって、その測定時に干渉縞を容易に得ることができる。

請求項（抜粋）：

発振波長が可変なレーザ光を露光用光源として用いる露光装置において、前記露光用レーザ光の発振波長を、該露光用レーザ光よりも可干渉性の良い収差測定が可能なレーザ光又は可干渉性の良いその高調波の波長に一致させたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 505

FI (2件)：

H01L 21/30 515 B , G03F 7/20 505

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-188316
特開昭62-188316

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