試料交換装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-178012
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334677
出願日： 2001年06月13日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】装置に不慣れなオペレータでも、短時間に試料交換を行うことができる試料交換装置を提供すること。【解決手段】中央制御手段56は、スイッチS1〜S5のon状態により、ガイドレール切換部36を図中gh方向の一方に移動させる。すなわち、中央制御手段56は、移動体19を予備排気室12に移動させるときは、ガイドレール切換部36をh方向に移動させる一方、移動体19を試料室2に移動させるときは、ガイドレール切換部36をg方向に移動させる。そして、中央制御手段56は、スイッチS1〜S5のon状態により、モータ20を制御して移動体19を所定量移動させる。この結果、予備排気室と本排気室間の試料筒の移動、本排気室と試料室間の試料筒の移動、および、チャック部23による試料筒18の試料ステージ3側への押し込みが自動的に行われる。

請求項（抜粋）：

先端にチャック部を有した移動体を本排気室から試料室に導くための第1のガイド体と、前記移動体を前記本排気室から予備排気室に導くための第2のガイド体と、前記移動体を前記試料室または予備排気室に導くガイド体として、前記第1のガイド体と第2のガイド体の何れか一方を選択する選択手段と、前記予備排気室に配置される試料筒を、予備排気室から前記本排気室に移動させることを指示する第1の指示手段と、その第1の指示手段からの指示に基づき、前記第2のガイド体が選択されるように前記選択手段を制御すると共に、その選択された第2のガイド体に沿って前記移動体が前記本排気室から前記予備排気室まで移動して、前記チャック部が前記試料筒を保持し、その試料筒をチャック部で保持した移動体が前記第2のガイド体に沿って移動して前記本排気室に戻るように前記移動体を制御する手段と、前記本排気室において前記チャック部で保持されている試料筒を、前記試料室の試料ステージに装着させることを指示する第2の指示手段と、その第2の指示手段からの指示に基づき、前記第1のガイド体が選択されるように前記選択手段を制御すると共に、その選択された第1のガイド体に沿って前記移動体が前記本排気室から前記試料室まで移動して、前記チャック部に保持されている試料筒が前記試料ステージに装着され、前記移動体が前記第1のガイド体に沿って移動して前記本排気室に戻るように前記移動体を制御する手段と、前記試料室の試料ステージに装着されている試料筒を、試料室から前記本排気室に移動させることを指示する第3の指示手段と、その第3の指示手段からの指示に基づき、前記第1のガイド体が選択されるように前記選択手段を制御すると共に、その選択された第1のガイド体に沿って前記移動体が前記本排気室から前記試料室まで移動して、前記チャック部が前記試料ステージに装着されている試料筒を保持し、その試料筒をチャック部で保持した移動体が前記第1のガイド体に沿って移動して前記本排気室に戻るように前記移動体を制御する手段と、前記本排気室において前記チャック部で保持されている試料筒を、前記予備排気室の試料筒ホルダに装着させることを指示する第4の指示手段と、その第4の指示手段からの指示に基づき、前記第2のガイド体が選択されるように前記選択手段を制御すると共に、その選択された第2のガイド体に沿って前記移動体が前記本排気室から前記予備排気室まで移動して、前記チャック部に保持されている試料筒が前記試料筒ホルダに装着され、前記移動体が前記第2のガイド体に沿って移動して前記本排気室に戻るように前記移動体を制御する手段を備えたことを特徴とする試料交換装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 , G21K 5/00 , G21K 5/04

FI (4件)：

H01J 37/20 B , H01J 37/20 E , G21K 5/00 A , G21K 5/04 M

Fターム (6件)：

5C001AA02 , 5C001AA07 , 5C001BB02 , 5C001CC01 , 5C001CC04 , 5C001CC05

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