特許
J-GLOBAL ID：200903065911683857
向上した照明を有するガス放電紫外線波長計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 今城 俊夫
, 西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-514191
公開番号（公開出願番号）：特表2005-530352
出願日： 2003年05月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
本発明は、5mJ又はそれより大きいパルスエネルギーにおける2000Hzより高いパルス速度で、パルス紫外線レーザシステムにおける長寿命のビーム品質モニタリングが可能な紫外線レーザのための波長計を提供する。好ましい実施形態において、向上した照明構成により、一般的な従来技術の構成と比較して、エタロンのパルス毎の照明が28分の一まで減少される。この実施形態においては、エタロンに入ってくる光を、エタロンによって生成された干渉縞を測定するように配置された線形光ダイオードアレイを照らすのに必要とされる量だけまでに減少させる光学系が提供される。この好ましい実施形態において、ビームスプリッタの2つの表面からの反射によって生成された2つのサンプルビームが、回折ディフューザによって拡散され、該回折ディフューザの出力は、2つの別箇のスペクトル的に同等の拡散ビームにおいて両方のビームと効果的に組み合わせる2つの別箇の二次ディフューザ上に合焦される。一方のビームは、波長及び帯域幅測定のために用いられ、他方のビームは、較正のために用いられる。好ましい実施形態において、エタロン・チャンバは、1.6パーセントから2.4パーセントまでの間の酸素濃度をもつ窒素を含む。
請求項（抜粋）：
向上した照明を有する紫外線レーザ波長計であって、
A.各々がビームスプリッタの別箇の面から反射する2つの空間的に分離したビームを含むレーザビームの一部を紫外線レーザから取り出すためのビームスプリッタと、
B.回折ディフューザと、
C.前記2つの空間的に分離したビームのサイズを減少させ、該2つの減少したビームを、前記回折ディフューザを照らし、該回折ディフューザの出口面に合体された拡散ビームを生成するように指向させるための縮小用光学系と、
D.第2のディフューザと、
E.前記合体された拡散ビームの一部を第2のディフューザ上にイメージングし、前記第2のディフューザの出口面に第1の2度拡散させられた合体ビームを生成するためのイメージング光学系と、
F.前記第1の2度拡散させられた合体ビームによって照らされ、干渉縞を生成するように配置されたエタロンと、
G.縞検出器、及び前記エタロンからの出力ビームを前記縞検出器上に合焦させるための合焦光学系と、
H.前記縞検出器によって生成される縞情報に基づいた、前記レーザビームのスペクトル特性を計算するためのアルゴリズムを用いてプログラムされたプロセッサと、
を備えることを特徴とする紫外線レーザ波長計。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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