電子顕微鏡の電子線照射量表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-007009
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196321
出願日： 2005年01月14日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】試料上の電子線照射量の積算値を二次元的に表示することによって、電子線損傷を多く受けた場所の撮影を防止できる電子顕微鏡を提供する。【解決手段】試料より上方に配置されている電子レンズと偏向器と絞りの設定状態に対して、試料に照射される電子線の試料上の電子線密度と電子線径と電子線の中心位置からのシフト量をキャリブレーションしたデータを記憶装置27に記憶しておく。電子レンズ等の設定状態とステージの座標値から算出される試料上での電子線照射量を二次元配列28に積算し、照射量マップを表示装置25に表示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に電子線を照射して電子顕微鏡像を観察する電子顕微鏡であって、試料より上方に配置されている電子レンズと偏向器と絞りの設定状態と、試料の観察位置を移動させる試料ステージの座標値とを読み取る読取手段を有し、前記試料より上方に配置されている電子レンズと偏向器と絞りの設定状態に対して、試料に照射される電子線の試料上の電子線密度と電子線径と電子線照射位置を記憶する手段と、試料上の各位置に対応した二次元配列の要素を持つ記憶手段と、前記試料より上方に配置されている電子レンズと偏向器と絞りの設定状態から試料上での電子線照射量を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された照射量を試料の座標値に基づいて前記二次元配列に積算する積算手段と、前記二次元配列に記憶されている照射量の積算値を画像として表示する表示手段を備え、前記読取手段によって、前記試料より上方に配置されている電子レンズと偏向器と絞りの設定状態及び試料ステージ座標値を読み取った結果に基づいて、前記算出手段によって試料上での電子線照射量を算出して二次元配列に積算し、得られた照射量の積算値に基づいて前記表示手段により画像として表示する、ことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (1件)：

H01J 37/22

FI (1件)：

H01J37/22 501J

引用特許：

出願人引用 (1件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-222993 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社

審査官引用 (5件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-053903 出願人：日本電子株式会社
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-298410 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
特開平3-190046

全件表示

前のページに戻る