特許
J-GLOBAL ID:200903065915054170
振動ジャイロ
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-012961
公開番号(公開出願番号):特開2004-226181
出願日: 2003年01月22日
公開日(公表日): 2004年08月12日
要約:
【課題】高精度・小型化に対応した振動ジャイロを提供する。【解決手段】水晶振動子1の略中央に備える平板状の胴体部4と、左端から延在する一対の駆動側アーム2と、右端から延在する一対の検出側アーム2と、を水晶にて一体的に形成したものである。水晶からなる支持体6は、基板7の上面の略中央部に接着剤12によって固定されている。さらに支持体6の上面に接着剤13にて水晶振動子1の胴体部4を胴体部4の略中央下面に有する固定支点5において固定した。【選択図】図1
請求項(抜粋):
平板状の胴体部と該胴体部から延在する一対の第一の振動アームと該胴体部から一対の第一の振動アームとは逆方向に延在する第二の振動アームとを圧電材料にて一体的に形成した圧電振動素子と、
該圧電振動素子と同一の材料にて形成した支持体と、を備え、
前記支持体に前記圧電振動素子の胴体部を接合固定したことを特徴とする振動ジャイロ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
2F105AA02
, 2F105BB01
, 2F105BB13
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
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