特許
J-GLOBAL ID：200903065916002165
電界電離型イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-102435
公開番号（公開出願番号）：特開平7-312190
出願日： 1994年05月17日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【構成】強電界を生じるエミッタ1と、これと独立したイオン源3並びにこのイオン源3から放出された正イオンをガスとの電荷交換により中性化し中性粒子ビーム7を供給する機構、または、エミッタ1に負イオンを供給する機構から構成される。【効果】電界電離型イオン源の放射角電流密度を数倍に向上させ、これにより、細束化したイオンビームの電流密度を数倍に向上させる。これにより微細集束イオンビームによる高速微細加工を実現する。または、イオン投影露光の解像度、スループットが数倍に向上する。
請求項（抜粋）：
イオン化物質分子を、中性粒子ビーム、または、負イオンビームとして供給する事を特徴とする電界電離型イオン源。
IPC (3件)：
H01J 37/08
, H01J 27/26
, H01J 37/305
