特許
J-GLOBAL ID：200903065916550766
エッジ収縮を補償する方法、エッジ収縮を補償したキャパシタ及びエッジ収縮を補償した抵抗器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
南條 眞一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-030620
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005780
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 IC等におけるキャパシタ比の変動を補償する。【構成】 エッジ補償を改善するために、キャパシタの個々のセルの配置を工夫して、2個のキャパシタのセルの露出外周の長さの間の比を、この2個のキャパシタ間の所望のキャパシタンス比に等しくすることにより、両方のセルに発生するエッジ収縮を考慮し、正確なキャパシタ比を保つ。本発明の実施例では、この2個のキャパシタのセルの露出エッジ間の共通部分数がキャパシタ比に一致するよう調整して、エッジ収縮補償を行うことができる。
請求項（抜粋）：
表面に形成された第1及び第2導電部分の外周に沿ったエッジ収縮を補償する方法であって、前記第2導電部の面積と前記第1導電部の面積の比率が名目比率Rであり:エッジ収縮が発生する前記第1導電部の外周の長さを決定する段階と;エッジ収縮が発生する前記第2導電部の外周長を決定する段階と;エッジ収縮が発生する前記第1及び第2導電部の前記外周の前記長さを、エッジ収縮が発生する前記第2導電部の外周の調節後の長さとエッジ収縮が発生する前記第1導電部の外周の調節後の長さが前記比率Rにほぼ等しくなるように調節する段階とから構成されることを特徴とするエッジ収縮を補償する方法。
引用特許：
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