特許

J-GLOBAL ID：200903065917803625

基板保持装置及び露光装置

発明者： 目黒 隆 ,  高林 幸夫 ,  岩本 和徳 ,  武藤 奉代
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-290588
公開番号（公開出願番号）：特開2005-064139
出願日： 2003年08月08日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】装置を複雑化することなく、アライメントステーションと露光ステーションの間で基板の受け渡しを可能とする。【解決手段】基板2を負圧により吸着保持する基板保持装置であって、本体部3と、本体部に形成された外気を吸引するための吸引穴37と、本体部3内に形成され、吸引穴37と連通する第1の中空部35とを備える。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板を負圧により吸着保持する基板保持装置であって、 本体部と、 該本体部に形成された外気を吸引するための吸引穴と、 前記本体部内に形成され、前記吸引穴と連通する第1の中空部とを備えることを特徴とする基板保持装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B23Q3/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (5件)：

H01L21/68 F ,  H01L21/68 P ,  B23Q3/08 A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 503C

Fターム (16件)：

3C016CE05 ,  3C016DA02 ,  3C016DA11 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031JA38 ,  5F031JA49 ,  5F031KA20 ,  5F031MA27 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046EB03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平1-49007号公報