特許
J-GLOBAL ID：200903065920257470
圧電アクチュエータ及びそれを用いた焦電型赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105061
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292284
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 共振近傍で安定駆動を行う赤外線センサ用チョッパを主目的とする貼り合わせ素子型圧電アクチュエータにおいて、回動運動による他部材との接触を防止する。【解決手段】 平板状の弾性体を折曲げてシム11、変位拡大部13、変位部材18、結合部19を一体的に構成し、シム11に圧電体12を接着してユニモルフ型貼合わせ素子を構成し、変位部材18の平板部分の法線が変位拡大部13の長手方向と、変位方向と両方に直行するように構成したので、変位量増大にともなって発生する変位の回動運動による赤外線検出部16との接触を防止できる。
請求項（抜粋）：
一端を固定部に固定した弾性部材からなるシムの他端に結合部を介してシムとほぼ平行となる変位拡大部を一体に設け、前記シムに分極処理された平板状の圧電体を接着し、変位拡大部の自由端に少なくとも変位拡大部の長手方向と変位方向の両方に対して垂直な平面をもつ変位部材を設けた圧電アクチュエータ。
IPC (3件)：
G01J 5/62
, H01L 37/02
, H01L 41/09
G01J 5/62 C
, H01L 37/02
, H01L 41/08 J
