特許

J-GLOBAL ID：200903065921142749

光計測装置

発明者： 平林 由紀子 ,  川口 文男 ,  山下 優一 ,  牧 敦 ,  小泉 英明 ,  伊藤 嘉敏
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-278797
公開番号（公開出願番号）：特開平8-131445
出願日： 1994年11月14日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】【構成】装置は光源1と、ハーフミラー2とレンズ3とレンズ21及びピンホール22からなる光学系と、時間分解検出器8と、それら各部の制御及びデータの記憶・演算を行うコンピュータ9と表示部10からなる。光源1から発し、散乱体試料4中の焦点5で散乱され、光学系を経由してピンポール22を通りぬけたパルス光を、検出器8で時間分解計測する。【効果】散乱体中の特定のスポット内の光計測が可能となり、スポットの走査により断層像が得られる。

請求項（抜粋）：

光源と光学系と光変調器と光の分岐手段と検出器を持つ計測装置であり、上記光源から発した光を上記分岐手段により二つに分岐し、分岐光のうち一方を上記光学系により試料中に導き焦点を結ばせ、上記焦点で散乱を受け再び上記光学系に導かれた光を、上記光変調器により変調されたもう一方の分岐光と合波させ、これにより生成した光を検出することにより、試料からの反射光中の平行成分を検出することを特徴とする光計測装置。